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如何提高光学平台旋转台系统的稳定性

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如何提高光学平台旋转台系统的稳定性

发布日期:2019-05-27 作者: 点击:

  随着先进的设备和工艺的发展,使纳米量级的测量成为可能。例如,变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度,目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域,已生产出线宽在亚微米量级的集成电路,提出测量准确率小于50纳米的精度要求。为了提高旋转台系统的稳定性,我们可以从以下的几个方面来着手。
  1、将系统与振源隔离。
  外界的振源来源很多,比如地面的自振,各种声音等等。但是影响最大的是各种低频的振源,主要集中在10~100Hz频率内。将系统与这些振源隔离可以有效的提高系统的稳定性。采用大阻尼的空气弹簧支撑方式可以较好的将系统与振源隔离。
  2、控制振动的作用。

旋转台

  将系统组装成动态的刚性结构可以保证系统内部的相对稳定性,且可以降低在外界的影响下产生共振的几率,提高系统的稳定性。
  3、控制静力矩的作用。
  光学平台的硬重比对于其共振频率有着重要的影响。较高的硬重比可以提高平台的共振频率,从而降低其在外界影响下的振动。而且在外力作用下,具有较高硬重比的平台可以在最小的重量下产生最小的变形,增加系统内部的刚性。内部采用蜂窝状支撑结构的光学平台可以充分的提高硬重比,达到提高系统性能的目的。
  4、控制温度变化。
  随着时间的延续,不规则温度变化会造成渐渐的结构弯曲。减小温度效应的关键在于控制环境减少温度变化。例如,避免在平台下放置散热设备,隔绝热源设备和硬件,如光源、火焰等。

本文网址:http://assns.cn/news/427.html

关键词:电动旋转台,自动旋转台,手动旋转台

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