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压电二维纳米位移台

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压电二维纳米位移台

  • 所属分类:压电多轴纳米位移台

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  • 发布日期:2021/01/21
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压电二维纳米位移台,XYMF-133-100A平移台实现了在XY二维空间上的准确定位,具有分辨率高,行程大(XY轴行程±50mm),带有高精度及高分辨率的位置反馈。操作简单,定位准确,能在真空下使用等优点,可应用于需要纳米精度运动操作及定位的各个领域。

压电二维纳米位移台使用压电陶瓷驱动,运动无需润滑,百分百真空兼容,并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到亚纳米级。步进和扫描双模式工作,并且在宏观行程范围内同样达到亚纳米分辨率的定位。支持开环闭环控制。

压电二维纳米位移台.jpg

压电二维纳米位移台.png

压电二维纳米位移台1.png

尺寸参数
外形尺寸(长*宽*高)133.0*133.0*26.1mm
台面平面度10 μm
总重量653.8g
运动参数
X轴±50mm
Y轴±50mm
运动速度上限3mm/s
材料
机身铝合金/
驱动PZT压电陶瓷/
驱动机构铍青铜/
导线屏蔽线,铜线/
运动控制
闭环重复定位精度(20℃)2nm
闭环位置传感器分辨率2nm
开环运动分辨率0.05nm
负载
垂直运动方向负载20N
沿运动方向负载4N
操作环境
操作温度0~60
操作湿度温度达到40℃时,相对湿度95%。(非冷凝)/
是否适用真空
其它
控制类型开环/闭环/
驱动电压上限125V


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