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压电二维纳米位移台，XYMF-133-100A平移台实现了在XY二维空间上的准确定位，具有分辨率高，行程大（XY轴行程±50mm），带有高精度及高分辨率的位置反馈。操作简单，定位准确，能在真空下使用等优点，可应用于需要纳米精度运动操作及定位的各个领域。
压电二维纳米位移台使用压电陶瓷驱动，运动无需润滑，百分百真空兼容，并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到亚纳米级。步进和扫描双模式工作，并且在宏观行程范围内同样达到亚纳米分辨率的定位。支持开环闭环控制。
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| 尺寸参数 | ||
| 外形尺寸（长*宽*高） | 133.0*133.0*26.1 | mm |
| 台面平面度 | 10 | μm |
| 总重量 | 653.8 | g |
| 运动参数 | ||
| X轴 | ±50 | mm |
| Y轴 | ±50 | mm |
| 运动速度上限 | 3 | mm/s |
| 材料 | ||
| 机身 | 铝合金 | / |
| 驱动 | PZT压电陶瓷 | / |
| 驱动机构 | 铍青铜 | / |
| 导线 | 屏蔽线，铜线 | / |
| 运动控制 | ||
| 闭环重复定位精度（20℃） | 2 | nm |
| 闭环位置传感器分辨率 | 2 | nm |
| 开环运动分辨率 | 0.05 | nm |
| 负载 | ||
| 垂直运动方向负载 | 20 | N |
| 沿运动方向负载 | 4 | N |
| 操作环境 | ||
| 操作温度 | 0~60 | ℃ |
| 操作湿度 | 温度达到40℃时，相对湿度95%。（非冷凝） | / |
| 是否适用真空 | 是 | |
| 其它 | ||
| 控制类型 | 开环/闭环 | / |
| 驱动电压上限 | 125 | V |
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