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压电直线纳米位移台MF30-40A

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压电直线纳米位移台MF30-40A

  • 所属分类:压电直线纳米位移台

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  • 发布日期:2021/01/21
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尺寸参数
外形尺寸(长*宽*高)53.2*30*10.5mm
台面平面度10 μm
总重量60g
材料
机身铝合金/
驱动PZT压电陶瓷/
驱动机构铍青铜/
导线屏蔽线,铜线/
粗调模式
运动范围±20mm
运动步进50~2000nm
速度上限3mm/s
细调模式
细调步进0.05nm
细调范围3000nm
闭环运动
重复定位精度20nm
分辨率2nm
负载
垂直运动方向负载20N
沿运动方向负载4N
操作环境
操作温度-20~80
是否适用真空/
其它
控制类型开环/闭环/
运动分辨率0.05nm
驱动电压上限125V


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