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压电直线纳米位移台 Z轴扫描台

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压电直线纳米位移台 Z轴扫描台

  • 所属分类:压电直线纳米位移台

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  • 发布日期:2021/01/21
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压电直线纳米位移台 Z轴扫描台,得益于特殊的结构设计,卓聚科技的Z轴扫描台,提供约等于5nm的粗调步进。产品支持真空,低温等应用。

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Z轴扫描台尺寸参数
中间位置外形尺寸(长*宽*高)45.6*44.0*24.6mm
样品台面平面度<5 μm
总重量78g
运动参数
Z轴行程±1.0mm
粗调步进5~200nm
细调行程300nm
细调步进(理论值)0.005nm
闭环运动
重复定位精度4nm
分辨率2nm
负载
竖直方向负载10N
操作环境
闭环(开环)操作温度-20~80(-269~80)
是否适用真空/


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