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压电直线纳米位移台 Z轴扫描台,得益于特殊的结构设计，卓聚科技的Z轴扫描台，提供约等于5nm的粗调步进。产品支持真空，低温等应用。
| Z轴扫描台尺寸参数 | ||
| 中间位置外形尺寸（长*宽*高） | 45.6*44.0*24.6 | mm |
| 样品台面平面度 | <5 | μm |
| 总重量 | 78 | g |
| 运动参数 | ||
| Z轴行程 | ±1.0 | mm |
| 粗调步进 | 5~200 | nm |
| 细调行程 | 300 | nm |
| 细调步进（理论值） | 0.005 | nm |
| 闭环运动 | ||
| 重复定位精度 | 4 | nm |
| 分辨率 | 2 | nm |
| 负载 | ||
| 竖直方向负载 | 10 | N |
| 操作环境 | ||
| 闭环（开环）操作温度 | -20~80（-269~80） | ℃ |
| 是否适用真空 | 是 | / |
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