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压电直线纳米位移台ML-92A 大行程直线位移台，不仅拥有紧凑的安装尺寸，同时还兼具低温真空等应用环境。
是小空间内大行程高精度的定位的优先选择产品。
| 压电直线纳米位移台ML-92A尺寸参数 | ||
| 外形尺寸（长*宽*高） | 123*28*15.5 | mm |
| 台面平面度 | 10 | μm |
| 总重量 | 190 | g |
| 运动参数 | ||
| 行程 | ±46 | mm |
| 运动速度上限 | 3 | mm/s |
| 材料 | ||
| 机身 | 铝合金 | / |
| 驱动 | PZT压电陶瓷 | / |
| 驱动机构 | 铍青铜 | / |
| 导线 | 屏蔽线，铜线 | / |
| 运动控制 | ||
| 闭环重复定位精度（20℃） | 20 | nm |
| 闭环位置传感器分辨率 | 2 | nm |
| 开环运动分辨率 | 0.05 | nm |
| 负载 | ||
| 垂直运动方向负载 | 20 | N |
| 沿运动方向负载 | 4 | N |
| 操作环境 | ||
| 操作温度 | 0~60 | ℃ |
| 操作湿度 | 温度达到40℃时，相对湿度95%。（非冷凝） | / |
| 是否适用真空 | 是 | |
| 其它 | ||
| 控制类型 | 开环/闭环 | / |
| 驱动电压上限 | 125 | V |
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