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ML-37A 产品拥有
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尺寸参数 | ||
外形尺寸（长*宽*高） | 53.4*20.0*12.8 | mm |
台面平面度 | 10 | μm |
总重量 | 55 | g |
材料 | ||
机身 | 铝合金 | / |
驱动 | PZT压电陶瓷 | / |
驱动机构 | 铍青铜 | / |
导线 | 屏蔽线，铜线 | / |
粗调模式 | ||
运动范围 | ±18.5 | mm |
运动步进 | 50~2000 | nm |
速度上限 | 3 | mm/s |
细调模式 | ||
细调步进 | 0.05 | nm |
细调范围 | 3000 | nm |
闭环运动 | ||
重复定位精度 | 20 | nm |
分辨率 | 2 | nm |
负载 | ||
垂直运动方向负载 | 20 | N |
沿运动方向负载 | 4 | N |
操作环境 | ||
操作温度 | -20~80 | ℃ |
是否适用真空 | 是 | / |
其它 | ||
控制类型 | 开环/闭环 | / |
运动分辨率 | 0.05 | nm |
驱动电压上限 | 125 | V |
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